真空泵
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爪式真空泵具备哪些特点?

2021-09-24 10:56:53

爪式真空泵是为半导体工业发展而研制的,它具备哪些特点?我们就来在本文中简单的了解一下:

1)泵腔内无润滑剂,因而无返油现象发生。

2)抽气元件为非接触式的可实现高速运转(3000r/min)。

3)与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。

4)在泵腔内气流垂直运动,少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。

5)该泵型式多样,功能可以扩展,泵的主体,带有齿轮、马达以及气体净化设备,附件有入口处防返流的阀门,出口处有截流阀,电气监控及报警装置。

6)齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑,上端盖内德轴承用PFPE油脂润滑。

7)二、三、四级均有净化入口,以改善被抽介质顺利通过泵腔,无此需要的可以不用通净化气体,净化气体用三个流量计分别调节,相互都是独立的,以保证节约惰性气体,利用三个电磁阀可微调其流量。

真空泵

8)入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断,出口处截流阀能将泵的出口封闭起来,将泵通以净化气体,这些阀可自动开关,真空系统有可靠得保护,杜绝了向真空室的返流。

9)电气监控与操作,主要有电源,远距离操作和开关阀等的控制。

当泵出现故障时,泵能自动停车,两个阀门一齐关闭或截流阀关闭。动力和遥控有一台变压器和整流器,以提供所需的电流电压,以满足监控过程的需要。动力电源、继电器用以对马达的接通和断开及马达超负荷的保护。操作流程有显示器,有按钮控制,可控制马达、防返流阀的控制阀和截流阀的控制阀,二、三、四级的净化气体的通断阀,惰性气体的主按钮操作。

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