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此系列阀门分为气动驱动方式，在结构设计上合理，外形上美观，并具有动作平稳、体积小、使用可靠、密封性能好和寿命长等优点，是真空设备自动化阀门之一
主要性能指标：
适用范围：1×10-3Pa～1.2×105Pa
打开时阀板上的压差：≤1.2×105Pa任意方向
阀体和阀座漏率：<1.3×10-5Pa·L·s
建议首次维修前循环次数：200，000次
周围空气温度：-25℃~50℃
安装位置：阀板密封面上端口接泵入气口
电源：交流220V 50Hz，6W
或直流24V，3W（特殊规格可定做）
阀门开启或关闭时间：-气动驱动：≤1s
阀门位置指示：带有启闭位置指示开关（磁性开关）
压缩空气:0.4～0.7MPa
