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溅射离子泵(SP)可获得清洁无油超高真空，它具有许多独特的优点，
已得到广泛的应用。
特点：
没有工作液，不污染系统；
无震动、无噪声；
工作压强范围宽(1x10负4-1x10负11托)；
寿命长，在1x10负7托工作寿命可达30年；
不用真空计可知真空度；
不用检漏仪可对系统进行检漏。
应用：
加速器 表面物理
储存环 材料研究
电子显微镜 宇宙模拟
质谱仪 大功率激光研究
真空电子器件
三级泵与二级泵的区别：
三极泵对惰性气体的抽速大得多。以下情况建议使用三极溅射离子泵：
1、不断有惰性气体进入真空系统；
2、在大型真空系统中离子泵与升华泵或吸气剂泵结合使用。
