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INFICON公司生产的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、轻便与经济的规管中,测量压强从2x10负6至下1000毫巴(1.5*10负6至750乇)。HPG400提供高度的重复性和再现性压强测量,用于溅射过程的压强控制。
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